超純水製造装置（２台）

（１）ミリポアＭＩＬＩ－Q　昭和６２年購入
（２）ミリポアＭＩＬＩ－ＱＪｒ．平成８年購入

イオン交換と濾過により17メガオームの超純水を製造する装置。

管理責任者
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